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光学镀膜机的清洗

发布者:admin   查看次数:2385   发布时间:2016/7/3
设备使用一个星期后(三班),因镀料除镀在工件表面 外,亦因无定向性而工作室 内的衬板上镀料,并越镀越厚,该层膜厚因组织、繞疏松,吸收大量气体而造成真空镀膜设备抽气越来越慢。此时,应对工作室及衬板进行清洗,如不必要拆落来的部件,可用砂纸打磨干净,衬板可浸泡在氢氟酸水溶液里,氢氟酸和水的比例看需要浸泡时间长短以及不伤衬板为原则。
注:衬板必须烘干水份才能安装,烘干前,衬板的水分尽量抹干,工作架等部件用砂纸清洁后,需要把真空室的所有灰尘清理干净,此可用吸尘器吸干净灰尘。最后安装衬板时,真空室及衬板都需要用酒精控拭干净。
因使用电子枪及离子源辅助镀膜,可能会造成清洁困难,可使用喷沙等方法来清洁。